特許

J-GLOBAL ID：200903043979992951

ダイヤモンド基板のクリーニング方法

発明者： 西林 良樹 ,  鹿田 真一
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 内田 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-335919
公開番号（公開出願番号）：特開平6-183893
出願日： 1992年12月16日
公開日（公表日）： 1994年07月05日
要約：

【要約】【目的】 ダイヤモンド基板の新規なクリーニング法を提供する。【構成】 ダイヤモンド基板に50keV以下の低エネルギーの電子線又は10keV以下のエネルギーのイオンを照射して該ダイヤモンド基板の表面を帯電させ、それと同時にあるいはその後さらに該ダイヤモンド基板に超音波振動を加えることを特徴とする。以上の処理の後に更に酸素原子、水素原子又はハロゲン原子含むガスのプラズマで処理することも好ましい。

請求項（抜粋）：

ダイヤモンド基板に50keV以下の低エネルギーの電子線を照射して該ダイヤモンド基板の表面を帯電させ、それと同時にあるいはその後さらに該ダイヤモンド基板に超音波振動を加えることを特徴とするダイヤモンド基板のクリーニング方法。

IPC (6件)：

C30B 29/04 ,  B01J 19/08 ,  B01J 19/10 ,  B08B 7/04 ,  C01B 31/06 ,  C30B 33/00