プラズマ式PFC分解システムおよびPFC分解方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉岡宏嗣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-116147
公開番号（公開出願番号）：特開2003-305334
出願日： 2002年04月18日
公開日（公表日）： 2003年10月28日
要約：

【要約】【課題】 PFC含有ガス中に含まれる金属不純物を効率良く除去し、金属不純物の析出に起因する閉塞や腐食性ガスに起因する排ガス吸引装置の腐食などを防止し、高いPFC分解性能を維持するための手段を備えたプラズマ式PFC分解システムを提供する。【解決手段】プラズマ装置1から第1排ガス吸引装置2により排出されたPFC(パーフルオロコンパウンド)を含む排ガスをプラズマ式PFC分解装置4に導入して分解し、分解ガスを第2排ガス吸引装置5により排気するプラズマ式PFC分解システムにおいて、第1排ガス吸引装置2とプラズマPFC分解装置4との間に金属不純物除去設備3を備える。プラズマPFC分解装置4または配管への金属不純物の固着や腐食性ガスに起因する排ガス吸引装置の腐食などを抑制できる。

請求項（抜粋）：

プラズマ装置から第1排ガス排出手段により排出されたPFC(パーフルオロコンパウンド)を含む排ガスをプラズマ式PFC分解装置に導入して分解し、分解ガスを第2排ガス排出手段により排気するプラズマ式PFC分解システムにおいて、金属不純物除去設備を前記第1排ガス排出手段と前記プラズマ分解装置との間に備えたことを特徴とするプラズマ式PFC分解システム。

IPC (11件)：

B01D 53/68 , B01D 8/00 , B01D 47/06 , B01D 50/00 501 , B01D 50/00 , B01D 53/64 , B01J 19/08 , B07B 7/08 , C07B 35/06 , C07B 37/06 , C07C 19/08

FI (11件)：

B01D 8/00 Z , B01D 47/06 Z , B01D 50/00 501 A , B01D 50/00 501 J , B01J 19/08 E , B07B 7/08 , C07B 35/06 , C07B 37/06 , C07C 19/08 , B01D 53/34 134 C , B01D 53/34 136 Z

Fターム (51件)：

4D002AA01 , 4D002AA17 , 4D002AA18 , 4D002AA22 , 4D002AA28 , 4D002AC10 , 4D002BA02 , 4D002BA04 , 4D002BA07 , 4D002BA13 , 4D002BA14 , 4D002CA01 , 4D002CA13 , 4D002DA01 , 4D002DA12 , 4D002DA41 , 4D002DA70 , 4D002EA02 , 4D002HA01 , 4D002HA06 , 4D021FA25 , 4D021GA06 , 4D021GB02 , 4D021HA10 , 4D032AC07 , 4D032BB01 , 4D076AA05 , 4D076AA14 , 4D076BE03 , 4D076FA03 , 4D076FA11 , 4D076FA15 , 4D076HA10 , 4G075AA03 , 4G075AA37 , 4G075BA01 , 4G075BA05 , 4G075CA25 , 4G075DA01 , 4G075EB01 , 4G075EB41 , 4G075FB06 , 4G075FC15 , 4H006AA05 , 4H006AC13 , 4H006AC26 , 4H006BA91 , 4H006BA95 , 4H006BD10 , 4H006BD60 , 4H006EA02

引用特許：

審査官引用 (1件)

ハロゲン含有ガスの処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-081777 出願人：三菱電機株式会社

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