荷電粒子ビーム装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：井上学 , 戸田裕二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-047027
公開番号（公開出願番号）：特開2009-204447
出願日： 2008年02月28日
公開日（公表日）： 2009年09月10日
要約：

【課題】試料の欠陥を検査する装置において、装置が小型化できて省スペース,コストダウン,振動抑止と高速化,検査の信頼性が得られ、特に大口径化したウエハの場合に効果が大きい荷電ビーム検査装置を得る。【解決手段】少なくとも一つ以上の検査を荷電ビーム機構で行う複数の検査機構を具備し、各検査機構を概略一軸に配する共通の真空容器内に設けられた各検査機構間を一軸移動する一軸移動機構と、試料を載置し一軸移動機構上に回転軸を有した回転ステージと、試料を各検査機構間で一軸移動機構により移動させ、次に回転ステージで試料の検査位置を検査機構へ調整して合わせ、検査機構により試料の検査を行う。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

少なくとも一つ以上の検査を荷電ビーム機構で行う複数の検査機構を具備し、各検査機構を概略一軸に配する共通の真空容器内に設けられた各検査機構間を一軸移動する一軸移動機構と、試料を載置し前記一軸移動機構上に回転軸を有した回転ステージと、前記試料を前記各検査機構間で前記一軸移動機構により移動させ、次に前記回転ステージで前記試料の検査位置を前記検査機構へ調整して合わせ、前記検査機構により前記試料の検査を行うことを特徴とする荷電粒子ビーム装置。

IPC (6件)：

G01N 23/225 , H01J 37/20 , H01J 37/28 , H01J 37/22 , H01J 37/147 , H01L 21/66

FI (7件)：

G01N23/225 , H01J37/20 D , H01J37/28 B , H01J37/22 502C , H01J37/147 B , H01L21/66 J , H01J37/22 502H

Fターム (47件)：

2G001AA03 , 2G001AA05 , 2G001AA07 , 2G001AA10 , 2G001BA05 , 2G001BA06 , 2G001BA07 , 2G001BA30 , 2G001CA01 , 2G001CA03 , 2G001CA10 , 2G001DA06 , 2G001FA01 , 2G001FA06 , 2G001FA16 , 2G001GA06 , 2G001GA13 , 2G001HA09 , 2G001JA07 , 2G001JA16 , 2G001KA03 , 2G001LA11 , 2G001MA05 , 2G001PA07 , 2G001PA11 , 2G001PA12 , 2G001QA01 , 2G001RA04 , 2G001SA29 , 4M106AA01 , 4M106BA02 , 4M106BA03 , 4M106CA39 , 4M106CA41 , 4M106DB05 , 4M106DB18 , 4M106DH53 , 5C001AA06 , 5C001AA08 , 5C001CC04 , 5C001DD03 , 5C033FF03 , 5C033FF05 , 5C033MM03 , 5C033UU01 , 5C033UU03 , 5C033UU05

引用特許：

出願人引用 (4件)

荷電粒子線装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-115233 出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
試料表面検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-232261 出願人：日本電子株式会社, 日本電子システムテクノロジー株式会社
欠陥検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-060762 出願人：日本電子株式会社, 日本電子システムテクノロジー株式会社

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審査官引用 (3件)

試料表面検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-232261 出願人：日本電子株式会社, 日本電子システムテクノロジー株式会社
欠陥検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-060762 出願人：日本電子株式会社, 日本電子システムテクノロジー株式会社
試料作製・観察方法及び荷電粒子ビーム装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-200833 出願人：株式会社日立ハイテクノロジーズ

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