特許

J-GLOBAL ID：200903044004607018

検査装置

発明者： 鈴木 保之 ,  宮下 丈人
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-313074
公開番号（公開出願番号）：特開2001-135691
出願日： 1999年11月02日
公開日（公表日）： 2001年05月18日
要約：

【要約】【課題】 半導体ウェハ等の検査を行う環境を高いクリーン度に保つと共に、振動を有効に抑制して、微細なパターンの検査を適切に行うことを可能にする。【解決手段】 装置本体10の下部に排気ユニット70を設け、クリーンエアユニット4からクリーンボックス3内に供給されてクリーンボックス3内を気流となって循環した空気を、クリーンボックス3の下端部からクリーンボックス3の外部に積極的に排出させる。排気ユニット70は、ダンパ部材73を介して装置本体10の支持台11の下端部に当接させるようにして、装置本体10の下側に設置する。これにより、クリーンボックス3内に生じた塵埃等をクリーンボックス3の外部に効果的に排出することができると共に、排気ユニット70に生じた振動が装置本体10に伝わることを有効に抑制して、半導体ウェハ等の検査を適切に行うことができる。

請求項（抜粋）：

被検査物の検査を行う装置本体部と、上記装置本体部を内部に収容するクリーンボックスと、上記クリーンボックスの上部に設けられ、上記クリーンボックスの内部に清浄な空気を供給する空気供給部と、上記空気供給部により上記クリーンボックスの内部に供給されて上記クリーンボックスの内部を循環した空気の少なくとも一部を上記クリーンボックスの外部に排出する排気部とを備え、上記排気部が、吸振部材を介して上記装置本体部の下部に当接されていることを特徴とする検査装置。

IPC (4件)：

H01L 21/66 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/956 ,  H01L 21/02

FI (4件)：

H01L 21/66 J ,  G01B 11/30 A ,  G01N 21/956 A ,  H01L 21/02 D

Fターム (55件)：

2F065AA14 ,  2F065AA56 ,  2F065BB01 ,  2F065CC19 ,  2F065DD13 ,  2F065DD14 ,  2F065FF01 ,  2F065GG02 ,  2F065GG04 ,  2F065GG12 ,  2F065GG23 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065KK01 ,  2F065LL10 ,  2F065MM02 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065RR04 ,  2F065UU00 ,  2G051AA51 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051BA01 ,  2G051BA05 ,  2G051BA10 ,  2G051BA20 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CB02 ,  2G051DA03 ,  2G051DA08 ,  2G051DA17 ,  2G051EA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EB09 ,  2G051EC01 ,  4M106AA01 ,  4M106BA05 ,  4M106BA07 ,  4M106CA41 ,  4M106DB04 ,  4M106DB07 ,  4M106DB08 ,  4M106DB30 ,  4M106DJ02 ,  4M106DJ04 ,  4M106DJ05 ,  4M106DJ06 ,  4M106DJ07 ,  4M106DJ11 ,  4M106DJ23