特許
J-GLOBAL ID：200903044005195740
清浄雰囲気保持容器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-208968
公開番号（公開出願番号）：特開平7-045488
出願日： 1993年07月30日
公開日（公表日）： 1995年02月14日
要約：
【要約】【目的】清浄雰囲気保持容器に於ける開閉蓋の開閉に伴う乱流の発生、パーティクルの巻込みを防止する。【構成】クリーンガス供給部4、清浄物収納部6及び該清浄物収納部開閉用の開閉蓋3を備え、前記クリーンガス供給部から清浄物収納部に向かって清浄ガスを流出させ、クリーンガス供給部、清浄物収納部間に設けた循環用ダクト13により清浄物収納部からのクリーンガスを前記クリーンガス供給部に循環させる清浄雰囲気保持容器に於いて、前記クリーンガス供給部にリーク弁15を設けたものであり、或は更に循環用ダクトに仕切り弁16を設け、保持容器が密閉状態ではクリーンガス供給部から送出されたクリーンガスは清浄物収納部から循環用ダクトを通ってクリーンガス供給部に循環し、開閉蓋の開状態ではリーク弁から雰囲気ガスが吸引され、クリーンガス供給部から送出され、一様流れを形成し、更に又、仕切り弁により循環用ダクトを閉塞することで清浄物収納部からの雰囲気ガスの巻込みが抑制され、一層の一様流れが形成される。
請求項（抜粋）：
クリーンガス供給部、清浄物収納部及び該清浄物収納部開閉用の開閉蓋を備え、前記クリーンガス供給部から清浄物収納部に向かって清浄ガスを流出させ、クリーンガス供給部、清浄物収納部間に設けた循環用ダクトにより清浄物収納部からのクリーンガスを前記クリーンガス供給部に循環させる清浄雰囲気保持容器に於いて、前記クリーンガス供給部にリーク弁を設けたことを特徴とする清浄雰囲気保持容器。
IPC (2件)：
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