特許

J-GLOBAL ID：200903044007505666

電子放出素子、それを用いた電子源並びに画像形成装置と、それらの製造方法

発明者： 山本 敬介 ,  浜元 康弘 ,  塚本 健夫 ,  山野辺 正人 ,  大西 敏一 ,  岸 文夫 ,  池田 外充 ,  宮崎 和也
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 豊田 善雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-182049
公開番号（公開出願番号）：特開平8-321254
出願日： 1995年06月26日
公開日（公表日）： 1996年12月03日
要約：

【要約】【目的】 表示装置、露光装置などの画像形成装置の電子源として用いられ、駆動による特性の劣化の抑制、電圧印加に伴う放電現象の抑制に優れ、長時間安定した電子放出の維持が可能で、電子放出効率の優れた電子放出素子を提供する。【構成】 電極2,3間の導電性膜4に形成された電子放出部5がグラファイト膜6を有し、グラファイト膜6は、波長が514.5nm、スポット径が1μmのレーザー光源を用いたラマン分光分析による散乱光のピークのうち、1580cm-1付近のピークが1335cm-1付近のピーク(P1)よりも大きいことを特徴とする電子放出素子。

請求項（抜粋）：

電極間に、電子放出部を有する導電性膜を備える電子放出素子において、前記電子放出部がグラファイト膜を有し、該グラファイト膜は、波長が514.5nm、スポット径が1μmのレーザー光源を用いたラマン分光分析による散乱光のピークのうち、a).1580cm-1付近のピーク(P2)が1335cm-1付近のピーク(P1)よりも大きいか又は、b).1335cm-1付近のピーク(P1)の半値幅が150cm-1以下であることを特徴とする電子放出素子。

IPC (4件)：

H01J 1/30 ,  H01J 9/02 ,  H01J 31/12 ,  H01J 31/15

FI (5件)：

H01J 1/30 B ,  H01J 1/30 Z ,  H01J 9/02 B ,  H01J 31/12 B ,  H01J 31/15 C