特許
J-GLOBAL ID：200903044011617215
微小振動子、半導体装置及び通信装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
角田 芳末
, 磯山 弘信
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-364800
公開番号（公開出願番号）：特開2006-174174
出願日： 2004年12月16日
公開日（公表日）： 2006年06月29日
要約：
【課題】 本発明は、振動子群の基板内からの弾性波に起因する不要出力を抑制し、またウエハーの利用効率を向上できるようにした微小振動子、この微小振動子を備えた半導体装置、及びこの微小振動子を信号フィルターとして備えた通信装置を提供することを目的とする。【解決手段】 本発明の微小振動子は、基板上に複数の振動子素子を格子状に規則的に配列してなる振動子群が配置され、各振動子素子が、アンカーにより前記基板に支持され、静電気力で前記基板と対向する方向に駆動される梁を有し、前記各振動子素子の隣接する4つの梁はアンカーを共用していることを特徴とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板上に複数の振動子素子を格子状に規則的に配列してなる振動子群が配置され、
各振動子素子が、アンカーにより前記基板に支持され、静電気力で前記基板と対向する方向に駆動される梁を有し、
前記各振動子素子の隣接する4つの梁は、アンカーを共用しているか、アンカーに繋がるDC給電線路で結ばれる
ことを特徴とする微小振動子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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