特許

J-GLOBAL ID：200903044015209650

ハイドレート構造を有するフッ素含有感光性ポリマー及びこれを含むレジスト組成物

発明者： 尹 広 燮 ,  禹 相 均 ,  宋 基 鎔 ,  崔 相 俊
出願人/特許権者： 三星電子株式会社
代理人 (1件)： 八田 幹雄 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-368107
公開番号（公開出願番号）：特開2003-192729
出願日： 2002年12月19日
公開日（公表日）： 2003年07月09日
要約：

【要約】【課題】 ハイドレート構造を有するフッ素含有感光性ポリマー及びこれを含むレジスト組成物を提供する。【解決手段】 3,000〜100,000の重量平均分子量を有し、次の構造:【化1】のうち少なくともいずれか一つの基を含有する繰り返し単位を含むことを特徴とする感光性ポリマーおよび該感光性ポリマーを含むレジスト組成物によって、上記課題は解決される。

請求項（抜粋）：

3,000〜100,000の重量平均分子量を有し、次の構造:【化1】のうち少なくともいずれか一つの基を含有する繰り返し単位を含むことを特徴とする感光性ポリマー。

IPC (7件)：

C08F 32/04 ,  C08F 12/14 ,  C08F 32/08 ,  C08F212/06 ,  C08F220/10 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027

FI (7件)：

C08F 32/04 ,  C08F 12/14 ,  C08F 32/08 ,  C08F212/06 ,  C08F220/10 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (45件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE07 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB08 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB16 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  4J100AB02R ,  4J100AB07P ,  4J100AB07R ,  4J100AJ02Q ,  4J100AJ02S ,  4J100AL03Q ,  4J100AL03S ,  4J100AL04Q ,  4J100AL04S ,  4J100AL05Q ,  4J100AL05S ,  4J100AR09P ,  4J100AR11P ,  4J100AR11R ,  4J100BA03P ,  4J100BA03R ,  4J100BA40R ,  4J100BB07P ,  4J100BB11R ,  4J100BB18P ,  4J100BC53P ,  4J100CA01 ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100JA38