特許

J-GLOBAL ID：200903044018527440

共振器の製造方法

発明者： ポール・ディー・ブラッドリー ,  リチャード・シー・ルビー ,  ジョン・ディー・ラーソン・サード
出願人/特許権者： アジレント・テクノロジーズ・インク
代理人 (1件)： 加藤 公久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-057209
公開番号（公開出願番号）：特開2002-344270
出願日： 2002年03月04日
公開日（公表日）： 2002年11月29日
要約：

【要約】【課題】同一基板上に共振周波数の異なる共振器を組立てる。【解決手段】基板(161)上に共振器(170)を製造する方法において、底部電極層(172)を作り、前記底部電極層上に圧電(PZ)層(174)を作り、前記PZ層の選択された選択部分(169)を部分的にエッチングし、前記PZ層(174)の前記選択部分上に表面電極(176)を作るようにした。

請求項（抜粋）：

基板上に共振器を製造する方法において、底部電極層を作り、前記底部電極層上に圧電(PZ)層を作り、前記PZ層の選択された選択部分を部分的にエッチングし、前記PZ層の前記選択部分上に表面電極を作るようにした共振器の製造方法。

IPC (3件)：

H03H 3/02 ,  H01L 41/22 ,  H03H 9/17

FI (3件)：

H03H 3/02 C ,  H03H 9/17 F ,  H01L 41/22 Z

Fターム (7件)：

5J108AA02 ,  5J108BB08 ,  5J108CC04 ,  5J108EE07 ,  5J108FF08 ,  5J108KK05 ,  5J108NB02