特許
J-GLOBAL ID:200903044021306323
研磨テープ積層体及びその製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
小西 淳美
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-174404
公開番号(公開出願番号):特開平10-006230
出願日: 1996年06月14日
公開日(公表日): 1998年01月13日
要約:
【要約】【課題】 特定の形状に打ち抜いて使用する研磨フィルムにおいて、研磨フィルムの裏面に脱落した研磨剤の付着を防止した研磨テープ及びその製造方法を課題とする。【解決手段】基材フィルム2の一方の側に研磨層3を設け、他の側に該基材フィルム2と剥離可能な保護フィルム1とを積層した研磨テープ積層体51を構成する。
請求項(抜粋):
基材フィルムの一方の側に研磨層を設け、他の側に該基材フィルムと剥離可能な保護フィルムとを積層したことを特徴とする研磨テープ積層体。
IPC (3件):
B24D 11/00
, B32B 7/06
, B32B 27/00
FI (3件):
B24D 11/00 P
, B32B 7/06
, B32B 27/00 Z
引用特許:
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