特許

J-GLOBAL ID：200903044027835034

膜厚測定方法

発明者： 平田 肇 ,  木村 克己 ,  鳥飼 潤
出願人/特許権者： 東レ株式会社
代理人 (1件)： 長門 侃二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-197078
公開番号（公開出願番号）：特開平7-071923
出願日： 1990年04月27日
公開日（公表日）： 1995年03月17日
要約：

【要約】【目的】 測定対象が局所的な細かい厚さむらを有するような薄膜の膜厚を精度良く測定する。【構成】 平行な白色光を一定の入射角で測定対象6に入射させ、その反射光または透過光を分光器14に導き、分光強度の明部または暗部のピークを与える波長または波数を検出し、この波長もしくは波数またはピーク値の規則性に基づいて正常部位を抽出し、この正常部位に属する波長または波数に基づいて測定対象6の膜厚を測定する。

請求項（抜粋）：

平行な白色光を一定の入射角で測定対象に入射させ、その測定対象による反射光または透過光を分光器に導き、その分光強度の明部または暗部のピークを与える波長または波数を検出し、該波長もしくは該波数または該ピーク値の規則性に基づいて正常部位を抽出し、該正常部位に属する該波長または該波数に基づいて前記測定対象の膜厚を算出することを特徴とする膜厚測定方法。