露光条件を管理することが可能な半導体装置の製造方法およびそれを用いて製造された半導体装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：深見久郎 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-368908
公開番号（公開出願番号）：特開2003-168641
出願日： 2001年12月03日
公開日（公表日）： 2003年06月13日
要約：

【要約】【課題】露光工程の露光条件をより厳密に管理することが可能な半導体装置の製造方法およびそれを用いて製造された半導体装置を提供する。【解決手段】まず、パターン1,2,3それぞれを形成するときの、寸法と露光量との関係を示すデータ、および、寸法と焦点位置の関係を示すデータを予め準備する(SA1)。次に、実際に半導体基板上にパターン1,2,3それぞれを形成し(SA3)、パターン1,2,3それぞれの寸法を測定する(SA4)。そして、前述のデータを作成する工程とそのロットの露光工程との間の、露光装置の露光量の変化量、焦点位置の変化量、および、焦点位置の変化方向を推定する(SA5)ことにより、次のロットの露光装置の露光量および焦点位置を適切に調整する(SA6)。

請求項（抜粋）：

露光工程を経て、半導体基板上に、所定のパターンを形成することにより露光条件を管理することが可能となる半導体装置の製造方法であって、前記所定のパターンには、第1パターンと、該第1パターンとは形成される高さ位置が異なり形状および寸法が同一の第2パターンと、前記第1パターンとは形成される高さ位置が異なり形状が同一で寸法が異なる第3パターンとが含まれ、前記第1パターンおよび前記第2パターンの寸法は、前記露光工程において想定される焦点位置のずれにより影響を受けない程度に設定されており、前記第3パターンの寸法は、前記露光工程において想定される焦点位置のずれにより影響を受ける程度に設定されている、ことを前提条件として、準備のためのステップであって、露光工程において露光量および焦点位置それぞれを変化させた種々の露光条件において、前記第2パターンを形成するときの寸法と露光量との関係を示すデータ、および、前記第3パターンを形成するときの寸法と焦点位置との関係を示すデータを準備するデータ準備ステップと、実際の半導体装置の製造工程において、露光工程を経て、半導体基板上に、前記第1パターン、前記第2パターンおよび前記第3パターンそれぞれを形成するパターン形成ステップと、該パターン形成ステップにおいて形成された前記第1パターン、前記第2パターンおよび前記第3パターンそれぞれの実際の寸法を測定する実寸法測定ステップと、前記第2パターンを形成するときの寸法と露光量との関係を示すデータ、および、前記第3パターンを形成するときの寸法と焦点位置との関係を示すデータと、前記第1パターン、前記第2パターンおよび前記第3パターンそれぞれの前記実際の寸法とを用いて、前記データ準備ステップと前記実寸法測定ステップとの間での露光量の変化量、焦点位置の変化量および焦点位置の変化方向を推定する推定ステップと、該推定ステップにおいて推定された露光量の変化量、焦点位置の変化量および焦点位置の変化方向を利用して、次の露光工程における露光量および焦点位置それぞれを適切に調整する露光量・焦点位置調整ステップとを備え、前記推定ステップは、前記第2パターンの前記実際の寸法と、前記第2パターン形成するときの寸法と露光量との関係を示すデータとを比較することにより、前記露光量の変化量を決定する露光量変化量決定ステップと、前記焦点位置のずれのみに起因した前記第1パターンと前記第3パターンと間の寸法差として、前記第1パターンの実際の寸法と前記第3パターンの実際の寸法との差から、前記第1パターンの実際の寸法と前記第2パターンの実際の寸法との差を引いた値を、算出する寸法差算出ステップと、前記第3パターンの実際の寸法から前記焦点位置のずれのみに起因した第1パターンと第3パターンとの間の寸法差を引いた値が、前記第3パターンを形成するときの寸法と焦点位置との関係を示すデータのベストフォーカス軸から前記高さ位置の差だけ移動した基準軸に対して、正側か、負側か、または、前記基準軸上かを判定することにより、前記焦点位置の変化量および前記焦点位置の変化方向を推定する焦点位置変化量・焦点位置変化方向決定ステップとを含む、半導体装置の製造方法。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521 , G03F 9/02

FI (5件)：

G03F 7/20 521 , G03F 9/02 H , H01L 21/30 516 Z , H01L 21/30 516 D , H01L 21/30 526 A

Fターム (7件)：

5F046DA02 , 5F046DA14 , 5F046DA30 , 5F046DB01 , 5F046DB05 , 5F046DB10 , 5F046DB11

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