特許
J-GLOBAL ID：200903044058786562
圧力センサおよび圧力センサ用のチップ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-253151
公開番号（公開出願番号）：特開平7-106601
出願日： 1993年10月08日
公開日（公表日）： 1995年04月21日
要約：
【要約】【目的】 或る圧力と大気圧とを単一の圧力センサで同時且つ正確に測定でき、しかも小型で安価な圧力センサを得ること。【構成】 感知された或る圧力に相当する出力信号を増幅する回路40等と、大気圧を測定する感圧手段であるダイヤフラム34と感知された大気圧に相当する出力信号を増幅する回路44等を同一のチップである複合集積回路チップ33上に設けた。
請求項（抜粋）：
第1の圧力センサと大気圧センサとを有し、前記両センサにはそれぞれ感圧手段とこの感圧手段からの出力信号を増幅する回路とが備えられ、前記第1の圧力センサの少なくとも前記増幅する回路と前記大気圧センサの少なくとも感圧手段と前記増幅する回路とが同一のチップ上に設けられてなることを特徴とする圧力センサ。
IPC (4件)：
H01L 29/84
, G01L 1/00
, G01L 9/00
, G01L 15/00
