特許

J-GLOBAL ID：200903044060134009

ダイヤモンド状炭素薄膜成形体及びその製造方法

発明者： 平木 昭夫 ,  八田 章光 ,  粟飯原 大 ,  八木 信昭
出願人/特許権者： ダイキン工業株式会社
代理人 (1件)： 前田 弘 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-195495
公開番号（公開出願番号）：特開平7-026380
出願日： 1993年07月12日
公開日（公表日）： 1995年01月27日
要約：

【要約】【目的】ダイヤモンド状炭素薄膜と銅板との密着性を向上させてダイヤモンド状炭素薄膜が基板より容易に剥離しないようする。【構成】銅板(13)上に形成されたシリコン膜(15)及び該シリコン膜(15)上に形成された炭化シリコン膜(16)よりなるバッファ層(14)が上記銅板(13)上に形成されている。該バッファ層(14)の炭化シリコン膜(16)上にダイヤモンド状炭素薄膜(12)が作成されている。

請求項（抜粋）：

基板(13)と、該基板(13)上に形成されたシリコン膜(15)及び該シリコン膜(15)上に形成された炭化シリコン膜(16)よりなるバッファ層(14)と、該バッファ層(14)の炭化シリコン膜(16)上に作成されたダイヤモンド状炭素薄膜(12)とより構成されていることを特徴とするダイヤモンド状薄膜成形体。

IPC (4件)：

C23C 16/26 ,  C23C 14/06 ,  C23C 16/30 ,  C23C 28/04