特許

J-GLOBAL ID：200903044061776900

光学式位置検出装置

発明者： 前田 敏彰
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 鎌田 久男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-198282
公開番号（公開出願番号）：特開2001-027510
出願日： 1999年07月13日
公開日（公表日）： 2001年01月30日
要約：

【要約】【課題】 反射部と投受光部との距離が変動しても、位置検出の誤差を生ずることがない光学式位置検出装置を提供する。【解決手段】 位置検出方向に形状が変化するパターンを配置した反射板3と、反射板3へ光を投射し、その反射光を受光する投受光素子6とを備え、反射板3と投受光素子6との距離の変動によって、投受光素子6の出力が変化しないように、反射板3に配置するパターン31を、位置検出方向及び他の方向に、反射率の異なる複数の領域を有するパターンとした。

請求項（抜粋）：

位置検出方向に形状が変化するパターンを配置した反射部と、前記反射部へ光を投射し、その反射光を受光する投受光部と、を備えた光学式位置検出装置において、前記反射部と前記投受光部との距離の変動によって、前記投受光部の出力が変化しないようにする補正手段を設けたことを特徴とする光学式位置検出装置。

IPC (2件)：

G01B 11/00 ,  G03B 5/00

FI (2件)：

G01B 11/00 B ,  G03B 5/00 J

Fターム (7件)：

2F065AA03 ,  2F065BB02 ,  2F065CC00 ,  2F065CC22 ,  2F065EE05 ,  2F065FF44 ,  2F065FF63