特許

J-GLOBAL ID：200903044062877637

電子線結像性能の評価装置及び電子線露光装置

発明者： 山本 一
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 渡部 温 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-103215
公開番号（公開出願番号）：特開2002-299218
出願日： 2001年04月02日
公開日（公表日）： 2002年10月11日
要約：

【要約】【課題】 高性能の結像性能評価を継続的に行うことができると共に、センサのメンテナンスを容易に行うことができる電子線結像性能の評価装置等を提供する。【解決手段】 ウェハステージ16の側方又は一部には、セラミックス製のナイフエッジ固定台24が設けられている。ナイフエッジ固定台24の上面には、ナイフエッジ状基準マーク1が配置されている。ナイフエッジ固定台24の下方には、フォトダイオード固定金具28が設けられている。フォトダイオード固定金具28には、図示せぬ超音波モータ等が設けられており、Y軸回りに回転可能となっている。フォトダイオード固定金具28の上下左右の外周面には、4つのフォトダイオード26が配置されている。各フォトダイオード26は、ビームのボケを測定するビームボケ測定部30に接続されている。

請求項（抜粋）：

感応基板上に転写すべき原版パターンを有するレチクルを電子線照明し、該レチクルを通過した電子線を前記感応基板上に投影結像させて転写パターンを形成する電子線露光装置における電子線結像性能の評価装置であって、前記レチクルの原版パターンの位置(物面位置)に配置された計測用パターンと、前記感応基板の転写パターンの位置(像面位置)に配置された、開口を有する計測用のナイフエッジ状基準マークと、該マークの下方に配置された、該マークを通過した電子線を検出するセンサと、前記センサの検出結果に基づきビームのボケを測定するビームボケ測定手段と、を備え、前記センサを複数個備えるとともに、実際に使用するセンサの選択機構を備えることを特徴とする電子線結像性能の評価装置。

IPC (6件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  H01J 37/04 ,  H01J 37/09 ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/305

FI (7件)：

G03F 7/20 521 ,  H01J 37/04 A ,  H01J 37/09 A ,  H01J 37/20 B ,  H01J 37/305 B ,  H01L 21/30 541 U ,  H01L 21/30 541 S

Fターム (20件)：

5C001AA01 ,  5C001AA07 ,  5C001CC06 ,  5C030AA02 ,  5C030AB03 ,  5C033BB02 ,  5C034BB05 ,  5C034BB08 ,  5F056AA22 ,  5F056BA01 ,  5F056BA05 ,  5F056BA06 ,  5F056BB02 ,  5F056BB03 ,  5F056BB09 ,  5F056BD03 ,  5F056BD07 ,  5F056EA12 ,  5F056EA14 ,  5F056FA05