特許
J-GLOBAL ID:200903044063594140

連続拡散照明の方法及び装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 足立 勉
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-519120
公開番号(公開出願番号):特表平8-510053
出願日: 1994年02月15日
公開日(公表日): 1996年10月22日
要約:
【要約】反射性表面(10)を検査するための電子機械視覚(12)又は手動顕微鏡による検査システムに用いられる、連続した均-の拡散光環境を提供するとともに、非連続性の反射により引き起こされる表面明るさのばらつきを除去する、方法及び装置であり、対象物は、対象物の視覚検査を可能とする観察窓(20)を通して観察される。観察対象物は観察軸上光源(14,24)と、観察軸外光源(22)とで照明されるが、各光源は個別の明るさ制御で制御されるため、対象物に対して均-な拡散光環境が提供される。
請求項(抜粋):
所定の強度及び性質を有する主観察軸外光源により照明された光反射性の対象物を観察軸に沿って観察するときに、観察手段が観察手段自体を観察してしまうことを防止する方法であって、観察対象物と観察手段との間に第二の観察軸上光源を介在させるステップを含み、前記第二の観察軸上光源の強度及び性質が、対象物を照明している主観察軸外光源の所定の強度及び性質に略等しい方法。
IPC (4件):
G01N 21/84 ,  G02B 21/06 ,  G03B 15/02 ,  H04N 5/225
FI (4件):
G01N 21/84 E ,  G02B 21/06 ,  G03B 15/02 C ,  H04N 5/225 C
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開平1-250947
  • 特開昭60-250783

前のページに戻る