特許
J-GLOBAL ID：200903044067324130
応力測定方法、装置およびプログラム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小笠原 史朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-042068
公開番号（公開出願番号）：特開2005-233732
出願日： 2004年02月18日
公開日（公表日）： 2005年09月02日
要約：
【課題】 微小、脆弱、および/または微少試料に対しても適用し得る応力測定法を提供すること。【解決手段】 被検試料に働く応力を測定するための装置であって、被検試料の被検部位における分光学的スペクトルを測定するためのスペクトル測定部と、少なくとも被検試料の応力感度係数を含むデータを予め格納するための記憶部と、被検試料の分光学的スペクトルから応力によるスペクトルのピークシフト量を算出するステップと、ピークシフト量および前記応力感度係数から、応力算出アルゴリズムに従って、被検試料に働く応力を算出するステップとを含む演算処理を行うための演算部と、算出した応力値を出力するための出力部とを備え、前記応力感度係数は、亀裂を有する標準試料における当該亀裂の先端付近の応力分布と、亀裂の先端付近で測定した標準試料の分光学的スペクトルの応力によるピークシフト量との関係から導出される、装置。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
被検試料に働く応力を測定するための装置であって、
被検試料の被検部位における分光学的スペクトルを測定するためのスペクトル測定部と、
少なくとも前記被検試料の応力感度係数を含むデータを予め格納するための記憶部と、
前記被検試料の分光学的スペクトルから応力による当該スペクトルのピークシフト量を算出するステップと、当該ピークシフト量および前記応力感度係数から、応力算出アルゴリズムに従って、前記被検試料に働く応力を算出するステップとを含む演算処理を行うための演算部と、
前記算出した応力値を出力するための出力部とを備え、
ここで、前記応力感度係数は、亀裂を有する標準試料における当該亀裂の先端付近の応力分布と、当該亀裂の先端付近で測定した当該標準試料の分光学的スペクトルの前記応力によるピークシフト量との関係から導出される、装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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