厚膜形成方法、カラーフィルタ形成方法、カラーフィルタ付アレイ基板形成方法、厚膜形成装置、カラーフィルタ形成装置およびカラーフィルタ付アレイ基板形成装置

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：樺澤襄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-367843
公開番号（公開出願番号）：特開2003-167115
出願日： 2001年11月30日
公開日（公表日）： 2003年06月13日
要約：

【要約】【課題】縁のテーパ角を所定角に設定できる厚膜のレジスト層を形成するカラーフィルタ付アレイ基板形成装置を提供する。【解決手段】逆テーパ状の赤色カラーフィルタ26rを、COA基板とホットプレートとの間隔を変化させて適切な温度に加熱して赤色カラーフィルタ26rを軟化させる。COA基板を加熱することにより軟化するので、温度によりレジスト組成物を軟化させたり、硬化させたりして、軟化領域の温度により逆テーパを順テーパに修正する。緑色カラーフィルタおよび青色カラーフィルタも同様に順次形成する。

請求項（抜粋）：

基板上にレジスト組成物を塗布しレジスト層を形成するレジスト組成物塗布工程と、前記レジスト層を所定形状にパターニングするパターニング工程と、前記レジスト層を熱処理することによりパターン端部のテーパ角を所定形状に整形する整形工程とを備えたことを特徴とする厚膜形成方法。

IPC (2件)：

G02B 5/20 101 , G02F 1/1335 505

FI (2件)：

G02B 5/20 101 , G02F 1/1335 505

Fターム (12件)：

2H048BA02 , 2H048BA11 , 2H048BA45 , 2H048BB02 , 2H048BB07 , 2H048BB08 , 2H048BB42 , 2H091FA02Y , 2H091FB02 , 2H091FD02 , 2H091GA01 , 2H091LA01

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