特許
J-GLOBAL ID：200903044074348087
スピンバルブ磁気抵抗センサ及び薄膜磁気ヘッド
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梅田 明彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-045077
公開番号（公開出願番号）：特開2000-251223
出願日： 1999年02月23日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：
【要約】【解決手段】 基板上に非磁性導電層8を挟む一対の強性磁性層7、9と反強磁性層6とを積層したスピンバルブ磁気抵抗センサにおいて、Pt-Mn-X合金、Ir-Mn-X合金、Rh-Mn-X合金、Ru-Mn-X合金及びPd-Mn-X合金のいずれか(Xは周期律表のIIa族、IVa族、Va族、IIIb族及びIVb族の元素から選択される1種又は2種以上の元素)を用い、かつXを0.1at%乃至15at%の範囲で含む反強磁性材料を用いて反強磁性層を形成する。【効果】 反強磁性層は、膜厚を薄くしても、高い(111)配向性及び良好な結晶性を確保し、それにより、交換結合磁場Hexを高くでき、MR比が向上する。またピン磁性層・フリー磁性層間の相互作用磁場Hintを低くでき、アシンメトリーを小さくできる。更に、ブロッキング温度TBを従来の反強磁性層に比較して高くでき、熱的安定性が向上する。
請求項（抜粋）：
基板上に非磁性層を挟んで配置された1対の磁性層と、一方の前記磁性層に隣接する反強磁性層とを積層した磁気抵抗効果膜を備えるスピンバルブ磁気抵抗センサであって、前記反強磁性層が、Pt-Mn-X合金、Ir-Mn-X合金、Rh-Mn-X合金、Ru-Mn-X合金及びPd-Mn-X合金のいずれかであり、前記Xが周期律表のIIa族、IVa族、Va族、IIIb族及びIVb族の元素から選択される1種又は2種以上の元素からなり、かつ前記Xを0.1at%乃至15at%の範囲で含む反強磁性材料からなることを特徴とするスピンバルブ磁気抵抗センサ。
Fターム (3件)：
5D034BA05
, 5D034CA08
, 5D034DA07
