特許
J-GLOBAL ID：200903044078787697
基板搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
谷川 昌夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-068218
公開番号（公開出願番号）：特開平7-283285
出願日： 1994年04月06日
公開日（公表日）： 1995年10月27日
要約：
【要約】【目的】 高精度の基板位置決めができるとともに高速基板搬送を行える基板搬送装置を提供する。【構成】 右ネジ部331と左ネジ部332とを有し、直進往復動可能の雄ネジ棒33と、右ネジ部331に嵌装されて定位置で回動可能のボールネジナット41及び左ネジ部332に嵌装されて定位置で回動可能のボールネジナット42とを含む開閉ボールネジ機構を備え、一対の基板支持アーム1、2のうち一方をナット41に片持ち支持させ、他方をナット42に片持ち支持させ、雄ネジ棒33の往復動に連動して両ナット41、42を互いに反対方向に回すことで一対のアーム1、2を互いに反対方向に往復動させる。
請求項（抜粋）：
それぞれが一端部に基板支持部を有する一対の基板支持アームと、前記各アームをその他端部で片持ち支持するとともに一方のアームの基板支持部を基板処理空間に配置すると同時に他方のアームの基板支持部を基板搬入搬出位置に配置するように該一対のアームを互いに反対方向に往復移動させるアーム支持連動機構を備えた基板搬送装置において、前記アーム支持連動機構が、右ネジ部と左ネジ部とを有していて直進往復動可能の雄ネジ棒と、前記右ネジ部に嵌装されて定位置で回動可能のボールネジナット及び前記左ネジ部に嵌装されて定位置で回動可能のボールネジナットを含む開閉ボールネジ機構を備え、前記一対のアームのうち一方のアーム他端部が一方のボールネジナットに片持ち支持されるとともに他方のアーム他端部が他方のボールネジナットに片持ち支持されており、前記雄ネジ棒の往復動に連動して前記両ボールネジナットが互いに反対方向に回動することで該一対のアームが互いに反対方向に往復動することを特徴とする基板搬送装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B25J 9/06
, H01L 21/203
, H01L 21/265
