特許

J-GLOBAL ID：200903044090858800

研磨体及び研磨方法

発明者： 千賀 達也 ,  石川 彰
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-254941
公開番号（公開出願番号）：特開2001-079755
出願日： 1999年09月08日
公開日（公表日）： 2001年03月27日
要約：

【要約】【課題】 軟質研磨体及び硬質研磨体のいずれにおいても、均一性の向上及び平坦性の向上は、両立せず、均一性、平坦性の両者の間にはトレードオフの関係がある。本発明は従来の研磨装置を用いても、均一性及び平坦性がともに向上する研磨体及びそれを用いた研磨方法を提供することを目的とする。【解決手段】 研磨体と研磨対象物の間に研磨剤を介在させた状態で、該研磨体と該研磨対象物を相対移動させることにより、前記研磨対象物を研磨する研磨装置に用いる研磨体において、表面に異なる2種類以上の凹凸構造が周期的または非周期的に形成されている研磨体及びそれを用いた研磨方法を提供する。

請求項（抜粋）：

研磨体と研磨対象物の間に研磨剤を介在させた状態で、該研磨体と該研磨対象物を相対移動させることにより、前記研磨対象物を研磨する研磨装置に用いる研磨体において、表面に異なる2種類以上の凹凸構造が周期的または非周期的に形成されていることを特徴とする研磨体。

IPC (2件)：

B24B 37/04 ,  H01L 21/304 622

FI (2件)：

B24B 37/04 A ,  H01L 21/304 622 F

Fターム (4件)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CB01 ,  3C058DA17