特許
J-GLOBAL ID：200903044092180533
同期制御装置および方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-020670
公開番号（公開出願番号）：特開平9-199399
出願日： 1996年01月12日
公開日（公表日）： 1997年07月31日
要約：
【要約】【課題】 高い同期精度を維持する。【解決手段】 マスター制御系の制御誤差em を入力とする同期誤差補正信号生成手段30内に、マスター制御系の動作状態に応じて変化する、可変係数γを生成する可変係数生成要素29と、この可変係数を係数として乗算する可変係数乗算器28を同期誤差補正パスに設けるようにしている。あるいは、マスター制御系の制御誤差γを入力とする同期誤差補正信号生成手段30内に比例ゲイン特性以外の周波数特性を有するフィルタ26を設ける。そしてスレーブ制御系に加えられる同期誤差補正パスに、前記可変係数乗算器を置く。
請求項（抜粋）：
一定の比率で同期動作を行なう第1および第2の被制御物体と、前記第1および第2の被制御物体を駆動する第1および第2の駆動手段と、前記第1および第2の被制御物体の速度およびもしくは位置を計測する第1および第2の計測手段と、前記第1および第2の被制御物体の同期動作を行なうための速度もしくは位置の目標値を生成する目標値生成手段と、前記目標値生成手段による第1の被制御物体の目標速度もしくは目標位置と、前記第1の被制御物体の計測手段による速度もしくは位置とから第1の制御誤差を算出する第1の減算器と、前記第1の制御誤差を入力して同期誤差補正信号を出力する同期誤差補正信号生成手段と、前記第1の制御誤差を入力として前記第1の駆動手段への指令値を算出する第1の制御手段と、前記目標値生成手段による第2の被制御物体の目標速度もしくは目標位置と、前記第2の被制御物体の計測手段による速度もしくは位置と、前記同期誤差補正信号から第2の制御誤差を算出する第2の減算器と、前記第2の制御誤差を入力として前記第2の駆動手段への指令値を算出する第2の制御手段とを有する同期制御装置において、可変係数を生成する可変係数生成要素および前記可変係数を前記同期誤差補正信号に対する係数として乗算する可変係数乗算器を、前記同期誤差補正信号生成手段に有することを特徴とする同期制御装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/30 518
, H01L 21/68 K
