圧力供給装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡辺昇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-094861
公開番号（公開出願番号）：特開平10-274589
出願日： 1997年03月28日
公開日（公表日）： 1998年10月13日
要約：

【要約】【課題】コンパクトな構成で安価でありながら、制御圧を変更しても高精度の制御圧を供給できる圧力供給装置を提供する。【解決手段】エア圧源1と、エア圧源1からのエア圧P1を減圧して元圧P2を出力するレギュレータ2Xと、レギュレータ2Xからの元圧P2を減圧して制御圧を出力する圧力制御器3とを備えている。上記レギュレータ2Xとして、パイロットレギュレータを使用する。圧力制御器3の出力する制御圧P3をフィードバックしてパイロットレギュレータ2Xのパイロット圧として導入する。これにより、パイロットレギュレータ2Xから圧力制御器3に送られる元圧P2を制御圧P3に追従させることができる。

請求項（抜粋）：

エア圧源と、このエア圧源から供給されるエア圧を減圧して元圧を出力するレギュレータと、このレギュレータより出力された元圧を減圧して制御圧を出力する圧力制御器とを備えた圧力供給装置において、上記レギュレータとしてパイロットレギュレータが用いられ、このパイロットレギュレータは、上記圧力制御器からフィードバックされる制御圧をパイロット圧として導入することにより、上記元圧を制御圧に追従させることを特徴とするテスト圧供給装置。

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