特許
J-GLOBAL ID:200903044097837476

試料の結晶方位のカラーマッピング方法及び装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴木 利之
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-041540
公開番号(公開出願番号):特開2005-233718
出願日: 2004年02月18日
公開日(公表日): 2005年09月02日
要約:
【課題】結晶方位を三つの回転角度α,β,γで表現して,色の変化で角度を表現する有効角度範囲と,色表現の階調数とを選択することにより,結晶方位のわずかな違いでも明瞭に色分けできるようにする。【解決手段】試料の表面上の複数の位置のそれぞれにおいて,X線回折法を用いて試料の結晶方位を求める。試料座標系に対する,前記結晶方位を代表する結晶座標系のなす角度を,試料座標系の三つの座標軸の回りの回転角度α,β,γで表現する。そのα,β,γを,変換関数fr,fg,fbを用いて,三原色の各色の濃度値Dr,Dg,Dbに変換するのであるが,その変換関数を決定するに当たっては,試料の結晶方位の現実の分布状態を考慮して,色の変化で角度を表現する有効角度範囲と,色表現の階調数とを適切に定めることができる。【選択図】図9
請求項(抜粋):
次の段階を備える,試料の結晶方位のカラーマッピング方法。 (ア)試料の表面上の複数の位置のそれぞれにおいて,X線回折法を用いて試料の結晶方位を求める段階。 (イ)前記複数の位置のそれぞれにおいて,前記試料の外形を基準とした試料座標系に対する,前記結晶方位を代表する結晶座標系のなす角度を,前記試料座標系の三つの座標軸の回りの回転角度α,β,γで表現する段階。 (ウ)前記三つの回転角度α,β,γのそれぞれについて,色の変化で角度を表現する有効角度範囲と,色表現の階調数とを定める段階。 (エ)前記回転角度α,β,γと三原色の各色の濃度値との対応関係を定める各変換関数を,前記有効角度範囲と前記階調数とに基づいて求める段階。 (オ)前記各変換関数に基づいて,前記回転角度α,β,γを前記三原色の各色の濃度値に変換する段階。 (カ)前記複数の位置のそれぞれに,前記各色の濃度値の合成色を割り当てて,試料の表面上の各位置の結晶方位の違いを色の違いで表現する段階。
IPC (1件):
G01N23/20
FI (1件):
G01N23/20
Fターム (16件):
2G001AA01 ,  2G001BA19 ,  2G001CA01 ,  2G001DA09 ,  2G001GA06 ,  2G001GA13 ,  2G001HA02 ,  2G001HA12 ,  2G001HA13 ,  2G001HA20 ,  2G001JA13 ,  2G001JA16 ,  2G001JA20 ,  2G001KA08 ,  2G001LA02 ,  2G001SA02
引用特許:
出願人引用 (1件)
  • 特公平6-75044号公報

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