特許

J-GLOBAL ID：200903044102896842

流体用ロータリジョイント

発明者： 大宮 潤治 ,  和田 正人
出願人/特許権者： 日本ピラー工業株式会社
代理人 (1件)： 杉本 丈夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-305786
公開番号（公開出願番号）：特開平11-141771
出願日： 1997年11月07日
公開日（公表日）： 1999年05月28日
要約：

【要約】【課題】 相対回転部材間において研磨液のシール状態での流動と表面研磨検出器への給電とを行なうことができるロータリジョイントを提供する。【解決手段】 回転体2は、ジョイント本体1に回転自在に支持されており、研磨パッド104が取り付けられる。両体1,2間には、相対回転摺接する密封環51,52を具備する一対のシール装置5,5によりシールされたシール空間50が形成されている。両体1,2には、シール空間50を介して連通する一連の研磨液通路7が形成されており、電源装置から研磨パッド104の研磨表面検出器に至る配電ルールが形成されている。配電ルートは、ジョイント本体側のコネクタ部分40とこれに電気的に接続された状態で回転自在に連結された回転体側のコネクタ部分41とからなるロータリコネクタ4と、電源装置から固定側のコネクタ部分40に至る電線40aと、回転体2に形成した電線挿通路24を通って回転側のコネクタ部分41から研磨表面検出器に至る電線41aとで構成される。

請求項（抜粋）：

ジョイント本体と、強制回転される流体使用部材に取り付けられる回転体であって、ジョイント本体に回転自在に且つ軸線方向移動不能に支持された回転体と、電源装置に接続される固定側コネクタ部分及びこれに電気的に接続された状態で回転自在に連結された回転側コネクタ部分からなるロータリコネクタと、を具備する流体用ロータリジョイントであって、回転体の外周部分とこれを同心状に囲繞するジョイント本体の内周部分との間に、軸線方向に並列する一対のシール装置によりシールされた環状のシール空間を形成し、ジョイント本体に、一端部が前記シール空間に開口する第1流体通路部分を形成すると共に、回転体に、一端部が前記シール空間に開口すると共に他端部が流体使用部材の取付部に開口する第2流体通路部分を形成して、両流体通路部分及び前記シール空間によりジョイント本体から流体使用部材に至る一連の流体通路が構成されるようになし、回転体に、前記回転側コネクタ部分を回転軸線が一致する状態で取り付けると共に、該回転側コネクタ部分に接続された電線を流体使用部材へと導く電線挿通路を第2流体通路部分と交差することなく形成し、且つジョイント本体に前記固定側コネクタ部分を取り付けて、電源装置からロータリコネクタを介して流体使用部材に至る配線ルートを形成しうるようになしており、前記各シール装置が、前記回転体の外周部分及びジョイント本体の内周部分の一方に固定保持された炭化珪素製の回転密封環と、その他方に軸線方向移動自在に保持された炭化珪素製の静止密封環と、前記流体通路外に配置されており、静止密封環をその軸線方向への移動を許容しつつ回転不能に係止する係止機構及び静止密封環を回転密封環へと押圧附勢する附勢機構とを具備し、且つ両密封環の対向端面たる密封端面の一方を他方の密封端面に線接触する尖端形状に形成して、両密封端面の相対回転摺接作用により前記シール空間を密閉シールするように構成したものであることを特徴とする流体用ロータリジョイント。