特許
J-GLOBAL ID：200903044104524659
ダイクロイックミラー
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-017735
公開番号（公開出願番号）：特開平11-202127
出願日： 1998年01月14日
公開日（公表日）： 1999年07月30日
要約：
【要約】【課題】 ダイクロイックミラーの入射角度の増加に伴なう半値波長のシフト等を低減する。【解決手段】 BK7の基板10の表面に高屈折率膜であるTiO2 膜21と中屈折率膜であるAl2 O3 膜22を交互に積層して、設計中心波長720nm、入射角度38度の18層膜構成の第1の選択透過多層膜20を設け、その上に、高屈折率膜であるTiO2 膜31と低屈折率膜であるSiO2 膜32を交互に積層して、設計中心波長880nm、入射角度38度の8層膜構成の第2の選択透過多層膜30を設ける。中屈折率膜を組み合わせることで、入射角度の増加に伴なう半値波長のシフト等を低減する。
請求項（抜粋）：
透明な基板と、それぞれ第1の設計中心波長の1/4に等しい光学的膜厚をもつ高屈折率膜と中屈折率膜を交互に積層した第1の選択透過多層膜と、それぞれ第2の設計中心波長の1/4に等しい光学的膜厚をもつ高屈折率膜と低屈折率膜を交互に積層した第2の選択透過多層膜を有するダイクロイックミラー。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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