特許
J-GLOBAL ID：200903044105959861
光源装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-143171
公開番号（公開出願番号）：特開平7-142319
出願日： 1993年06月15日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：
【要約】【目的】 光学部品の性能値を的確に測定してその清掃、交換時期を表示することのできるステッパ等の半導体製造装置の光源装置を提供する。【構成】 照度センサ11を水銀灯1の出射面に挿入して水銀灯1の照度を測定し、次いで照度センサ11を楕円面鏡2の光放射面に挿入してその照度を測定して光源の照度比を求める。レンズ、平面鏡等の照度比はそれぞれの光の入射側と出射側の照度より算出する。照度センサ11はリニアアクチュエータにより上記光路上に出し入れされる。CPU18は上記照度比より当該光学部品の性能劣化を判定してCRT、プリンタ等にその清掃、交換時期を表示する。
請求項（抜粋）：
光源の出射光を反射鏡やレンズ等の光学部品により導いて利用する光源装置において、上記光学部品の入射光と出射光の照度比を測定する手段を備えたことを特徴とする光源装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03B 27/54
, G03F 7/20 521
