特許
J-GLOBAL ID：200903044109032258
基板処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
下出 隆史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-267966
公開番号（公開出願番号）：特開平7-106401
出願日： 1993年09月29日
公開日（公表日）： 1995年04月21日
要約：
【要約】【目的】 本基板処理装置は、複数のカセット300から基板を取り出して幅寄せを行なう際に、基板の損傷やパーティクルの発生が生ない。【構成】 基板移載部40では、第1および第2ターンテーブル80A,80Bにカセット300が載置されると、第1ターンテーブル80Aが90 ゚回転され、第1基板受け渡し具110Aを上昇させてカセット300内の基板Wを取り出す。その後、第1ターンテーブル80Aを90 ゚回転して元の位置に戻す。続いて、第2ターンテーブル80Bを90 ゚時計方向へ回転し、第2基板受け渡し具110Bを上昇させて他方のカセット300から基板Wを取り出す。第1及び第2ターンテーブル80A,80Bの偏心板82の回転中心Cは、カセット位置決め枠94の中心位置から偏心しているから、その間の距離だけ両カセット300が載置された間隔より狭くなる幅寄せが行なわれる。
請求項（抜粋）：
下部開口を有し、複数の基板からなる基板群を起立整列状態で収容する複数のカセットから、該基板群をぞれぞれ取り出して整列させて他の処理手段へ搬送する基板処理装置において、上記基板群を起立整列状態で保持する第1基板載置部分を有する第1基板受け渡し具と、第1基板受け渡し具を下降位置から基板受け渡し位置を経て上昇位置の間で昇降駆動させる第1昇降手段と、他の基板群を、上記第1基板載置部分にて保持された基板群と連続した間隔の起立整列状態で保持する第2基板載置部分を有する第2基板受け渡し具と、第2基板受け渡し具を下降位置から基板受け渡し位置を経て上昇位置の間で昇降駆動させる第2昇降手段と、第1及び第2カセットを保持する第1及び第2カセット保持部をそれぞれ有するカセット保持手段と、第1カセット保持部を第1回転軸を中心に所定の搬送経路で回転駆動しその搬送経路での停止位置が上記第1カセットを受け渡しするカセット搬送位置と上記基板受け渡し位置になるように設けられた第1回転駆動部と、第2カセット保持部を第2回転軸を中心に所定の搬送経路で回転駆動しその搬送経路での停止位置が第2カセットを受け渡しするカセット搬送位置と上記基板受け渡し位置になるように設けられた第2回転駆動部と、を有し、上記第1回転軸または第2回転軸の少なくとも一方がカセット保持部の中心位置に対し偏心した位置に設けられたカセット回転搬送手段と、第1及び第2基板受け渡し具からその上昇位置で保持した両基板群を受け取って搬送する基板搬送手段と、を具備することを特徴とする基板処理装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65G 49/07
, G02F 1/13 101
