特許

J-GLOBAL ID：200903044109178988

コンデンサアレイの製造方法及びこの方法を使って製造したA-D変換器

発明者： 荒井 総一郎
出願人/特許権者： 株式会社デンソー
代理人 (1件)： 二瓶 正敬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-098372
公開番号（公開出願番号）：特開2002-299560
出願日： 2001年03月30日
公開日（公表日）： 2002年10月11日
要約：

【要約】【課題】 コンデンサの静電容量の所定値に対する偏差を容易に除去するとともに、精度の向上を図り得るコンデンサアレイの製造方法及びこの製造方法を使ったA-D変換器を提供する。【解決手段】 半導体ウェハの一主面に、金属膜を積層し、一端が直線状に並ぶ複数の前記島領域を形成する工程と、島領域を電極101〜10nとするコンデンサの静電容量を推定し、その結果から島領域が配置された方向における各コンデンサの静電容量の所定値に対する偏差傾向を調査する工程と、調査の結果に基づき、直線状に並ぶ島領域の一端部に対して所定の角度だけ傾くように、複数の島領域の外側部の一方に定めた始点Aから他方に定めた終点Dまで直線状に各島領域を切断する工程とを備える。

請求項（抜粋）：

半導体ウェハの一主面に、誘電性の薄膜を介して導電性の金属膜を積層し、前記金属膜をパターニングすることによって、並列に配置された複数の島領域を形成し、前記島領域をそれぞれコンデンサの電極とするコンデンサアレイの製造方法において、一端が直線状に並ぶ複数の前記島領域を形成する工程と、前記島領域を電極とするコンデンサの静電容量を推定し、その結果から前記島領域が配置された方向における各コンデンサの静電容量の所定値に対する偏差傾向を調査する工程と、前記調査の結果に基づき、直線状に並ぶ前記島領域の一端部に対して所定の角度だけ傾くように、前記複数の島領域の外側部の一方に定めた始点から他方に定めた終点まで直線状に前記各島領域を切断する工程とを、備えたことを特徴とするコンデンサアレイの製造方法。

IPC (3件)：

H01L 27/04 ,  H01L 21/822 ,  H03M 1/14

FI (2件)：

H03M 1/14 B ,  H01L 27/04 C

Fターム (9件)：

5F038AC05 ,  5F038AC17 ,  5F038DF03 ,  5F038EZ11 ,  5F038EZ20 ,  5J022AA06 ,  5J022BA01 ,  5J022CA07 ,  5J022CG01