特許

J-GLOBAL ID：200903044110675480

石英ガラスルツボの製造方法

発明者： 岩谷 富士雄 ,  加藤 俊幸 ,  円谷 健男
出願人/特許権者： 信越石英株式会社
代理人 (1件)： 武田 正彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-098331
公開番号（公開出願番号）：特開平5-208838
出願日： 1991年01月31日
公開日（公表日）： 1993年08月20日
要約：

【要約】[目的] 石英ガラスルツボの壁面膨張を抑えて常圧及び減圧下で安定したシリコン単結晶の引き上げを行うことができる石英ガラスルツボを製造すること。[構成] アーク回転溶融法で製造された石英ガラスルツボを、水素又は水素含有雰囲気中で、加熱保持することによりシリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボを製造する。

請求項（抜粋）：

アーク回転溶融法で製造された石英ガラスルツボを、水素又は水素含有雰囲気中で、加熱保持することを特徴とするシリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボの製造方法。

IPC (2件)：

C03B 32/00 ,  C30B 15/10