特許
J-GLOBAL ID：200903044110805864
産業用ロボットのハンド異常検出装置及びハンド異常検出方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
前田 弘 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-346241
公開番号（公開出願番号）：特開平11-179692
出願日： 1997年12月16日
公開日（公表日）： 1999年07月06日
要約：
【要約】【課題】 ハンド1に、複数のウエハW,W,...をそれぞれ同時に把持する複数の把持部4,4,...が互いに間隔をあけて並設されたロボットに対し、そのハンド1の各把持部4の変形を検出して、ウエハWを確実に把持するとともに、把持部4のカセットC等との干渉を防いでウエハWや把持部4等の破損、発塵を防止する。【解決手段】 予めハンド1の移動範囲内の基準位置に対応して光センサ40を配置固定し、ハンド1を基準位置に位置付けた状態で最下端把持部4が光センサ40の真横位置に存在していることを光センサ40で検出する。以後、ハンド1を基準位置から複数の把持部4,4,...の間隔と同じ距離ΔZだけ順に下側に変位させて、光センサ40により他の把持部4,4,...の有無を検出する。変形の把持部4は正確に光センサ40の真横位置に存在せず、光センサ40の出力異常になるので、それを把持部4の変形と検出する。
請求項（抜粋）：
ワークを把持部にて把持するハンドを有する産業用ロボットの上記把持部の異常状態を検出するようにしたハンド異常検出装置であって、上記ロボットの作業空間に含まれる所定の基準位置に対応して配置され、ハンドが上記基準位置に位置付けられたときに上記把持部の所定部位を検出する検出手段と、上記検出手段の出力に基づいて上記把持部の異常状態を判定する異常判定手段とを設けたことを特徴とする産業用ロボットのハンド異常検出装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B25J 19/06
, H01L 21/68 D
