特許
J-GLOBAL ID：200903044112593724
照射装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
矢野 敏雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-093993
公開番号（公開出願番号）：特開平5-138014
出願日： 1992年04月14日
公開日（公表日）： 1993年06月01日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】あらゆる種類の物質に直接に照射が出来る装置を提供する。【構成】処理空間を非金属性の物質又は非金属性の物質で隙間なく被覆された物質からなる壁面のすべての面で閉鎖する。例えば、ガラス管1の内側にアルミ層2を備え層2で光源の内側電極を形成する。この管1から間隔をあけて、UV透過性物質例えば石英からなる中間の管3で同心円状に囲み、両管に包まれる空間は放電空間4を形成する。管3の外側を管5で囲み、管3と管5の形成する空間6は処理空間として用いられ、管5の外側にアルミ層を設けて外側電極とする。管3の末端は管1に溶融結合させ、両管の形成する空間にガスを充填する。管5の両端は弾性ゴム等で密封し、処理空間6を外気から遮断する。放電空間4中の放電は電極2,7に交流を負荷して行われ、この空間4に貴ガス等が充填される。放電はUV光を放射し管3を透過して直接処理空間6に入射する。処理空間6には照射されるべき物質を導入する。
請求項（抜粋）：
少なくとも1つの高出力光源、充填ガスで充填された1つの放電空間(4)、この場合、充填ガスは、静電放電の作用下に、光線、有利にエキシマー光線を出射し、放電空間(4)が、壁面によって仕切られていて、この壁面の少なくとも1つが誘電性物質からなり、かつ放電空間中で発生した光線のために透過性であり、直接的に放電空間(4)の1つの壁面と境を接する1つの処理空間(6)、放電空間(4)の外に電極の対(2、7)およびこの放電の供給のために2つの電極(2、7)に接続した交流電源(12)を有し、この場合、放電空間(4)の中への電気エネルギーの接続が、本質的に容量的に、処理すべき物質によって処理空間(6)中で行われる照射装置において、処理空間(6)が、非金属性物質または非金属性物質で隙間なく被覆された物質からなる壁面のすべての面で、閉鎖されていることを特徴とする、照射装置。
IPC (3件)：
B01J 19/12
, H01J 61/20
, G21K 5/00
