特許
J-GLOBAL ID：200903044115888938
照明光源装置、照明装置、露光装置、及び露光方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
福田 充広
, 藤本 芳洋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-133551
公開番号（公開出願番号）：特開2004-274011
出願日： 2003年05月12日
公開日（公表日）： 2004年09月30日
要約：
【課題】固体光源素子アレイを好適な冷却方法と冷却環境下で動作させることで高発光効率を長期間維持可能な照明装置を提供すること。【解決手段】発光ダイオード21bをアレイ状に配置した擬似面光源を備える固体光源ユニット21を用いるので、十分な照明強度を確保しつつ、長い発光寿命と高い発光効率とを達成することができる。また、発光ダイオード21bは、照明光の波長の任意性を極めて高めることができる。さらに、給排気装置25、給排気ポート26a、26b等によって、冷却ガスが通過する冷却気体路CPを固体光源ユニット21の擬似面光源の周囲に形成するので、比較的少量の冷却ガスを所望の流速で擬似面光源の周囲に供給し通過させることができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
アレイ状に配置された複数の単位固体光源を有する擬似面光源と、
冷却用の気体が通過する冷却気体路を、前記擬似面光源の周囲に形成する気流形成手段とを備えることを特徴とする照明光源装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L21/30 527
, G03F7/20 501
, H01L21/30 515A
2H097CA12
, 2H097LA10
, 2H097LA12
, 2H097LA20
, 5F046BA04
, 5F046CA10
, 5F046CB19
, 5F046CB22
, 5F046DA01
, 5F046DA27
