特許
J-GLOBAL ID：200903044116136999
走査型電子顕微鏡およびその類似装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-094076
公開番号（公開出願番号）：特開平6-310070
出願日： 1993年04月21日
公開日（公表日）： 1994年11月04日
要約：
【要約】【目的】実時間でかつ高分解能に試料像を立体視できる走査型電子顕微鏡およびその類似装置を提供する。【構成】立体観察のために2方向の電子ビーム照射によりSEM像観察を行うが、その一方は通常のSEMで使用している状態の高分解能観察用電子ビームであり、他方は試料を異なった角度から観察するために偏向器やレンズの軸外を用いて偏向した立体観察用電子ビームとする。これらの電子ビームを動的に切り換えて用いるように構成した。【効果】実時間でかつ高分解能に試料像を立体視できるSEMおよびその類似装置を提供できる。また、計算機に信号を取り込んで処理を要するようなSEM関連装置では、3次元高分解能処理ができる。
請求項（抜粋）：
電子銃から出た電子ビームを細く絞って試料に照射し、前記試料から放出された2次電子や反射電子等を検出して試料像を観察する走査型電子顕微鏡において、高分解能観察用電子ビームと立体観察用電子ビームを試料に異なった角度から照射して高分解能立体観察するように構成したことを特徴とする走査型電子顕微鏡。
IPC (4件)：
H01J 37/22
, H01J 37/09
, H01J 37/147
, H01J 37/28
