特許
J-GLOBAL ID：200903044116624772
真空バルブ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-074389
公開番号（公開出願番号）：特開平6-288493
出願日： 1993年03月31日
公開日（公表日）： 1994年10月11日
要約：
【要約】【目的】 流路の開放・遮断とコンダクタンスの微調整を確実に行うことのできる真空バルブを提供する。【構成】 バルブディスク16は、上下方向中央に形成された円柱部と、円柱部の上部に円環状に突出して形成されたフランジ部と、円柱部の下部に連続して形成され先端に向かって断面が減少するテーパ部とからなっている。フランジ部の下面には円環状のシールリングが装着されており、弁座22の上面に形成された円環状のシート面に当接してシールを行うようになっている。また、バルブディスク16は、閉弁位置近傍において、その円柱部の外周面が弁座の内周面と微小間隙をもって対峙するようになっている。
請求項（抜粋）：
バルブボデー内に軸方向に移動する弁体とこの弁体に当接してシールを行う弁座とを配設した真空バルブにおいて、半径方向に突出して形成された円盤状のフランジ部をその基端に有する円柱部とこの円柱部の先端に連続して形成され先端側に向けて断面が減少するテーパ部とから構成された弁体と、閉弁時に前記フランジ部の端面と当接する円環状のシート面と前記弁体との嵌合時に前記円筒部の外周面と微小間隙をもって対峙する内周面とから構成された弁座とを備えたことを特徴とする真空バルブ。
IPC (2件)：
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