光導波路チップ用母板および光導波路チップの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-061055
公開番号（公開出願番号）：特開平6-250034
出願日： 1993年02月24日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】光導波路チップ用母板からチップ端面における反射の影響を除いた導波路チップを効率よく製作する。【構成】光導波路3,4を光導波路チップ用母板1上に形成する際に、チップ端面での反射の影響を除くため、隣接したチップ毎の光導波路ユニットを光導波路4の長手方向に適当にずらして、この長手方向に平行な画区切り分けの為の切削加工線6及びこれに垂直な線に対し適当な角θだけ傾いた画区切り分けの為の切削加工線5に沿いチップ用母板から各チップを切り出す。【効果】切削加工線5の代りに切削加工線6に垂直な線に沿い切削後、チップ毎に端面を斜めにカットする従来の方法に比べて、各チップ毎に端面の傾斜角θがばらつきのない一定値で精度よく形成され、また切削工程を減らして効率よく所望の光導波路チップを製作できる。

請求項（抜粋）：

少なくとも一つの光導波路の形成された画区が、平板基板上の縦横方向に少なくとも一列配列されて形成された光導波路チップ用母板において、少なくとも一つの光導波路の形成された画区と、前記画区の光導波路の非長手方向に隣接する少なくとも一つの光導波路の形成された他の画区とが、一定の角度で横方向にずらされて配列形成されていることを特徴とする光導波路チップ用母板。

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平1-277204
特開平2-064506
特開平1-277204

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