特許

J-GLOBAL ID：200903044135771360

減圧処理室の圧力制御装置

発明者： 小藤 直行 ,  秋山 博 ,  長谷 征洋
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
代理人 (1件)： 特許業務法人 武和国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-021692
公開番号（公開出願番号）：特開2008-187139
出願日： 2007年01月31日
公開日（公表日）： 2008年08月14日
要約：

【課題】定数を最適な値に設定するのみで、ガス種、ガス流量、目標圧力に関わらず、減圧処理室を速やかに所望圧力に調整する。【解決手段】減圧処理室1と、該減圧処理室に処理ガスを供給するガス供給手段9と、前記減圧処理室に供給された処理ガスに電磁エネルギを供給してプラズマを生成するプラズマ生成手段5と、前記減圧処理室内のガスを排気する排気手段2と、前記減圧処理室内のガス圧力を測定するガス圧力測定手段4と、前記排気手段により排気されるガスの排気速度を調整する排気速度調整手段3と、前記圧力測定手段により測定したガス圧力が目標値に一致するように制御演算を施して排気速度を演算し、演算結果に基づいて前記排気速度調整手段を制御する演算制御装置13とを備えた。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

減圧処理室と、 該減圧処理室に処理ガスを供給するガス供給手段と、 前記減圧処理室に供給された処理ガスに電磁エネルギを供給してプラズマを生成するプラズマ生成手段と、 前記減圧処理室内のガスを排気する排気手段と、 前記減圧処理室内のガス圧力を測定するガス圧力測定手段と、 前記排気手段により排気されるガスの排気速度を調整する排気速度調整手段と、 前記圧力測定手段により測定したガス圧力が目標値に一致するように制御演算を施して排気速度を演算し、演算結果に基づいて前記排気速度調整手段を制御する演算制御装置とを備えたことを特徴とする減圧処理室の圧力制御装置。

IPC (1件)：

H01L 21/306

FI (1件)：

H01L21/302 101D

Fターム (10件)：

5F004AA02 ,  5F004AA05 ,  5F004BB07 ,  5F004BB14 ,  5F004CA02 ,  5F004CA08 ,  5F004DA18 ,  5F004DA26 ,  5F004DB02 ,  5F004DB03

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 減圧処理装置の真空排気装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-186667   出願人：大日本スクリーン製造株式会社