特許

J-GLOBAL ID：200903044135940910

TFT基板、それを用いた液晶表示装置及びその製造方法

発明者： 井上 一吉 ,  松崎 滋夫
出願人/特許権者： 出光興産株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 喜平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-200710
公開番号（公開出願番号）：特開2003-017706
出願日： 2001年07月02日
公開日（公表日）： 2003年01月17日
要約：

【要約】【課題】 安定して作動するTFT基板と液晶表示装置及びその効率的な製造方法を提供する。【解決手段】 基板2上に、ゲート電極4、ゲート絶縁膜6、α-Si:H(i)膜8、チャンネル保護層10、α-Si:H(n)膜12、金属アルミニウムを主成分とするソース・ドレイン電極14,15、ソース・ドレイン絶縁膜16、金属薄膜バッファー層18及び透明電極20を具備するα-SiTFT基板1。ソース・ドレイン電極14,15上に、金属バッファー膜18と透明導電膜20を成膜し、これらを同時にエッチングして金属薄膜バッファー層18と透明電極20を形成する。スルーホール22において、ソース・ドレイン電極15は、金属バッファー膜18により、直接透明導電膜20と接触しないため、電極15中のアルミニウムが酸化されず接触抵抗が高くならない。

請求項（抜粋）：

ソース・ドレイン電極と透明電極の間に絶縁層が介在し、前記絶縁層に形成されたスルーホールにより前記ソース・ドレイン電極と前記透明電極が電気的に接続されているTFT基板において、前記ソース・ドレイン電極が金属アルミニウムを主成分とし、前記スルーホールにおいて、前記ソース・ドレイン電極と前記透明電極との間に金属薄膜バッファー層を有するTFT基板。

IPC (6件)：

H01L 29/786 ,  G02F 1/1345 ,  G02F 1/1368 ,  G09F 9/30 338 ,  H01L 21/28 301 ,  H01L 21/3205

FI (7件)：

G02F 1/1345 ,  G02F 1/1368 ,  G09F 9/30 338 ,  H01L 21/28 301 Z ,  H01L 29/78 616 U ,  H01L 29/78 616 V ,  H01L 21/88 R

Fターム (125件)：

2H092GA25 ,  2H092GA27 ,  2H092JA26 ,  2H092JA37 ,  2H092JA41 ,  2H092JA46 ,  2H092JB24 ,  2H092JB33 ,  2H092JB56 ,  2H092KA05 ,  2H092KA12 ,  2H092KB04 ,  2H092KB14 ,  2H092KB25 ,  2H092MA05 ,  2H092MA07 ,  2H092MA13 ,  2H092MA18 ,  2H092NA27 ,  2H092NA29 ,  4M104AA01 ,  4M104BB02 ,  4M104BB04 ,  4M104BB05 ,  4M104BB06 ,  4M104BB07 ,  4M104BB08 ,  4M104BB09 ,  4M104BB13 ,  4M104BB36 ,  4M104CC01 ,  4M104DD08 ,  4M104DD17 ,  4M104DD34 ,  4M104DD36 ,  4M104DD37 ,  4M104DD38 ,  4M104DD64 ,  4M104EE08 ,  4M104EE17 ,  4M104EE20 ,  4M104FF17 ,  4M104FF22 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  4M104GG14 ,  4M104GG20 ,  5C094AA43 ,  5C094BA03 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094DA09 ,  5C094DA13 ,  5C094DB01 ,  5C094EA05 ,  5C094GB10 ,  5C094JA08 ,  5F033HH07 ,  5F033HH09 ,  5F033HH13 ,  5F033HH14 ,  5F033HH17 ,  5F033HH38 ,  5F033JJ01 ,  5F033JJ07 ,  5F033JJ09 ,  5F033JJ13 ,  5F033JJ14 ,  5F033JJ17 ,  5F033JJ38 ,  5F033KK01 ,  5F033KK09 ,  5F033MM05 ,  5F033MM13 ,  5F033NN06 ,  5F033NN07 ,  5F033PP15 ,  5F033PP19 ,  5F033PP20 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ09 ,  5F033QQ10 ,  5F033QQ11 ,  5F033QQ19 ,  5F033QQ37 ,  5F033RR06 ,  5F033SS11 ,  5F033VV06 ,  5F033VV15 ,  5F033XX32 ,  5F033XX33 ,  5F110AA16 ,  5F110BB01 ,  5F110CC07 ,  5F110DD02 ,  5F110EE06 ,  5F110EE44 ,  5F110FF03 ,  5F110FF29 ,  5F110FF30 ,  5F110GG02 ,  5F110GG15 ,  5F110GG25 ,  5F110GG44 ,  5F110GG45 ,  5F110HK06 ,  5F110HK09 ,  5F110HK16 ,  5F110HK25 ,  5F110HK32 ,  5F110HK33 ,  5F110HK34 ,  5F110HK35 ,  5F110HL02 ,  5F110HL04 ,  5F110HL06 ,  5F110HL07 ,  5F110HL11 ,  5F110HL22 ,  5F110HL23 ,  5F110HM18 ,  5F110NN04 ,  5F110NN14 ,  5F110NN24 ,  5F110NN35