特許
J-GLOBAL ID:200903044139538849
酸化スズ薄膜のパターニング方法およびエッチング液
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-072671
公開番号(公開出願番号):特開平11-269671
出願日: 1998年03月20日
公開日(公表日): 1999年10月05日
要約:
【要約】【課題】エッチング速度大の酸化スズ薄膜パターニング方法および耐用寿命が向上したエッチング液の提供。【解決手段】エッチング雰囲気を、窒素、二酸化炭素、ヘリウム、ネオンおよびアルゴンから選ばれる1種以上からなるガスの雰囲気とし、かつエッチング液として、ヨウ化水素酸を含む還元性エッチング液を使用する酸化スズ薄膜のパターニング方法とヨウ化水素酸とヨウ化物とが混合されてなるエッチング液。
請求項(抜粋):
ガラス基板上に設けられた酸化スズ薄膜をエッチングして酸化スズ薄膜をパターニングする方法において、エッチング雰囲気を、窒素、二酸化炭素、ヘリウム、ネオンおよびアルゴンから選ばれる1種以上からなるガスの雰囲気とし、かつエッチング液として、ヨウ化水素酸を含む還元性エッチング液を使用することを特徴とする酸化スズ薄膜のパターニング方法。
IPC (5件):
C23F 1/16
, G02F 1/1343
, H01J 9/02
, H01J 11/02
, H01L 31/04
FI (5件):
C23F 1/16
, G02F 1/1343
, H01J 9/02 F
, H01J 11/02 B
, H01L 31/04 M
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