ムラ欠陥の検出方法及び装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：佐々木宗治 , 小林久夫 , 木村三朗 , 大村昇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-001747
公開番号（公開出願番号）：特開2004-212311
出願日： 2003年01月08日
公開日（公表日）： 2004年07月29日
要約：

【課題】閾値を検出画像内の輝度統計データに基づいて自動的に決定するように構成することにより、画面のムラ欠陥を欠陥サイズの大小にかかわらず、高精度に自動的に検出するとともに、検出されたムラ欠陥の定量評価を可能にする。【解決手段】検査対象の画面10をCCDカメラ6で撮像し、コンピュータ7に取り込まれた画像から背景画像14との差をとり検査画像(背景差分画像)15を作成し、検査画像またはその縮小画像に対して複数段階の画像の平坦化処理を行い、第1及び第2の平坦化画像16、17を作成し、検査画像またはその縮小画像と第1の平坦化画像16との画像間、及び第1の平坦化画像16と第2の平坦化画像17との画像間で、それぞれ差分処理を行い、差分処理により得られる画像内の輝度データを統計計算し、その統計データに基づいて閾値を決定し欠陥候補を抽出し、さらに欠陥候補の評価値を算出する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

検査対象の画面を撮像する工程と、撮像により取り込まれた画像から、予め作成しておいた背景画像との差をとり検査画像を作成する工程と、前記検査画像または該検査画像を縮小した縮小画像に対して複数段階の画像の平坦化処理を行い、第1および第2の平坦化画像を作成する工程と、前記検査画像または該検査画像の縮小画像と前記第1の平坦化画像との画像間、および前記第1の平坦化画像と第2の平坦化画像との画像間で、それぞれ差分処理を行う工程と、前記差分処理により得られる画像内の各画素の輝度データを統計計算する工程と、その輝度統計データに基づいて閾値を決定し欠陥候補を抽出する工程と、を有することを特徴とするムラ欠陥の検出方法。

IPC (4件)：

G01N21/88 , G01M11/00 , G02F1/13 , G06T1/00

FI (4件)：

G01N21/88 Z , G01M11/00 T , G02F1/13 101 , G06T1/00 305A

Fターム (30件)：

2G051AA90 , 2G051AB20 , 2G051AC21 , 2G051CA04 , 2G051EA08 , 2G051EA11 , 2G051EA16 , 2G051EB01 , 2G051EC02 , 2G086EE10 , 2H088FA12 , 2H088FA30 , 2H088MA04 , 2H088MA20 , 5B057AA03 , 5B057BA02 , 5B057BA30 , 5B057CA08 , 5B057CA12 , 5B057CA16 , 5B057CB08 , 5B057CB12 , 5B057CB16 , 5B057CD10 , 5B057CE05 , 5B057DA03 , 5B057DB02 , 5B057DB09 , 5B057DC23 , 5B057DC32

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