特許

J-GLOBAL ID：200903044147668735

研磨用被加工物保持具及びこれを用いた研磨方法

発明者： 安田 辰志 ,  松本 裕文
出願人/特許権者： ロデール・ニッタ株式会社
代理人 (1件)： 辻本 一義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-219944
公開番号（公開出願番号）：特開2001-038611
出願日： 1999年08月03日
公開日（公表日）： 2001年02月13日
要約：

【要約】【課題】 従来よりも被加工物や研磨用被加工物保持具自体の破損を抑制することができる研磨用被加工物保持具及びこれを用いた研磨方法を提供しようとするもの。【解決手段】 この研磨用被加工物保持具は、被加工物が嵌合されるリセス孔1aが開設されたテンプレート1と、前記被加工物を保持する弾性体から成るバッキング材3とが相互に固定された研磨用被加工物保持具であって、前記リセス孔周縁の端部以外の箇所に凹部8を設けた。

請求項（抜粋）：

被加工物が嵌合されるリセス孔が開設されたテンプレートと、前記被加工物を保持する弾性体から成るバッキング材とが相互に固定された研磨用被加工物保持具であって、前記リセス孔周縁の端部以外の箇所に凹部を設けたことを特徴とする研磨用被加工物保持具。

IPC (2件)：

B24B 37/04 ,  B24B 41/06

FI (2件)：

B24B 37/04 E ,  B24B 41/06 L

Fターム (11件)：

3C034AA13 ,  3C034AA17 ,  3C034BB75 ,  3C034DD20 ,  3C058AA07 ,  3C058AB04 ,  3C058CA01 ,  3C058CA05 ,  3C058CA06 ,  3C058CB02 ,  3C058DA17

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-138933
  
• 特開昭63-016970
  
• 特開昭61-126609