特許

J-GLOBAL ID：200903044148876935

静電浮上搬送装置の制御方法

発明者： 吉田 康
出願人/特許権者： 株式会社安川電機
代理人 (1件)： 西村 政雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-154605
公開番号（公開出願番号）：特開2000-344349
出願日： 1999年06月02日
公開日（公表日）： 2000年12月12日
要約：

【要約】【課題】 自動で最適バイアス電圧を求め、繰り返し搬送の初期ギャップのばらつきや、周囲湿度に影響されず被搬送物の浮上が確実円滑にする。【解決手段】 電流プレート上に複数に分割配置した静電浮上用電極と、電極と対向する被搬送物と、両者間のギャップを検出する変位センサと、電極へ印加する電圧を制御する制御器とを備た静電浮上搬送装置において、電極への印加電圧の絶対値を増加させ( ステップ102)、電極の内の1つの電極Aと被搬送物とのギャップが予め設定した閾値ギャップに到達した時( ステップ103)、電極Aへは印加電圧の増加を停止し( ステップ104)、この時点の印加電圧をバイアス電圧として固定し、被搬送物と電極A間が目標ギャップとなるように電極Aへの印加電圧のPID制御を始め( ステップ105)、電極A以外の静電浮上用電極でも同様に各個独自に被搬送物とのギャップが閾値に到達した時、印加電圧の増加を停止し、PID制御を開始する。

請求項（抜粋）：

絶縁基板からなる電極プレートと、前記電極プレート上に複数に分割配置された静電浮上用電極と、前記静電浮上用電極と対向する被搬送物と、前記静電浮上用電極と前記被搬送物とのギャップを検出する変位センサと、前記静電浮上用電極へ印加する電圧を制御する制御器とを備え、前記静電浮上用電極への電圧の印加により前記被搬送物を静電吸引力で非接触に浮上保持して、前記被搬送物を搬送する静電浮上搬送装置により、前記被搬送物を浮上させる制御方法において、前記制御器の操作を行い、まず全ての前記静電浮上用電極への印加電圧の絶対値を増加させ、つぎに前記静電浮上用電極の内の1つの静電浮上用電極Aと前記被搬送物とのギャップが予め設定した閾値ギャップに到達した時、前記静電浮上用電極Aへは印加電圧の増加を停止し、この時点の前記印加電圧をバイアス電圧として固定し、前記被搬送物と前記静電浮上用電極A間が目標ギャップとなるように前記静電浮上用電極Aへの印加電圧のPID制御を始め、前記静電浮上用電極A以外の前記静電浮上用電極に関しても同様に各個独自に前記被搬送物とのギャップが前記閾値に到達した時、印加電圧の増加を停止し、PID制御を開始することを特徴とする静電浮上搬送装置の電圧制御方法。

IPC (6件)：

B65G 54/02 ,  B65G 49/06 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/68 ,  H02N 13/00 ,  B60L 13/04

FI (6件)：

B65G 54/02 ,  B65G 49/06 Z ,  B65G 49/07 Z ,  H01L 21/68 A ,  H02N 13/00 D ,  B60L 13/04 A

Fターム (7件)：

3F021AA07 ,  3F021BA05 ,  3F021CA03 ,  3F021CA05 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031GA65