特許
J-GLOBAL ID：200903044149467621
シリコン製ノズル基板、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置、シリコン製ノズル基板の製造方法、液滴吐出ヘッドの製造方法及び液滴吐出装置の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
上柳 雅誉
, 須澤 修
, 宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-148929
公開番号（公開出願番号）：特開2009-292080
出願日： 2008年06月06日
公開日（公表日）： 2009年12月17日
要約：
【課題】剛性及び液滴吐出速度に優れ、しかもインク吐出量を充分に確保することができ、製造に際しては工程数を削減することができるシリコン製ノズル基板等を提供する。【解決手段】シリコン製ノズル基板1は、液滴を吐出するためのノズル孔11を複数有し、各ノズル孔11はそれぞれ複数の筒状部11a〜11iから構成され、各筒状部11a〜11iの軸方向に垂直な断面積が上面から底面まで一定である。そして、軸方向に垂直な断面形状および断面積がそれぞれ同じである。筒状部11a〜11iは、それぞれの径が10〜40μmであり、長さが30〜100μmである。筒状部11a〜11iは円筒形であって、中心部とその同心円上に配設することができる。また、多角筒形であって、中心部とその同心上に配設するようにしてもよく、断面を正六角形状とし、ハニカム構造状に配置してもよい。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
液滴を吐出するためのノズル孔を複数有し、
前記各ノズル孔がそれぞれ複数の筒状部から構成され、前記各筒状部の軸方向に垂直な断面積が上面から底面まで一定であることを特徴とするシリコン製ノズル基板。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B41J3/04 103N
, B41J3/04 103H
2C057AF93
, 2C057AG15
, 2C057AG18
, 2C057AG54
, 2C057AG55
, 2C057AP02
, 2C057AP12
, 2C057AP13
, 2C057AP22
, 2C057AP32
, 2C057AP33
, 2C057AP34
, 2C057AP53
, 2C057AP60
, 2C057AQ01
, 2C057AQ02
