特許

J-GLOBAL ID：200903044149642296

表面検査装置

発明者： コスマス・マリン ,  エドガール・エフ・シユタイクマイエル ,  トーマス・ネーゼンゾーン ,  ハリー・エル・ザワツキー ,  ハインリッヒ・アウダーセット ,  ゲルト・シユミット
出願人/特許権者： テンコー・インストルメンツ
代理人 (1件)： 江崎 光史 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-116721
公開番号（公開出願番号）：特開平7-103906
出願日： 1992年04月10日
公開日（公表日）： 1995年04月21日
要約：

【要約】【目的】 対象物体11の表面10全体の欠陥や汚れを非破壊的に検査する装置を提供する。【構成】 光源2と対物レンズ9との間のビーム通路に、種々の位置で制御可能であって異なった中間像31を形成するレンズ系5と、調節可能な暗視野偏向系8を有する暗視野ビーム遮蔽構造群18とが配設さている。照明ビーム1による表面10の一回目の走査では、葉巻状の第一中間像で比較的早い送りでスパイラ状に走査する。二回目の走査では、点状の第二中間像でより遅い送りで走査する。対物レンズ9に集光する光が指向する光検出器19には、評価電子回路21が接続していて、点状、線状および面状欠陥による測定値を求める。

請求項（抜粋）：

照明ビーム1が対物レンズ9を通過して対象物体11の検査すべき表面10に垂直に向かい、回転と並進運動で合成される動きを行う駆動部に載置ディスク13を固定し、対象物体11の表面10を照明ビーム1によってスパイラル状に走査し、対象物体11の表面10から放射され、対物レンズ9で集束される光を受光する光検出器19を装備し、この検出器の出力端を増幅器20に接続していて、照明ビーム1を発生させる光源2と、対物レンズ9と、検査ないしは調査すべき対象物体11を載せる載置ディスク13とを用いた表面検査装置において、-光源2と対物レンズ9の間のビーム通路に、種々の位置で制御可能なレンズ系5が配設されていて、-このレンズ系5が位置に応じて異なった中間像31を発生し、その場合、対象物体11の表面10を一回目に走査する時、第一中間像33を使用し、二回目に走査する時、第二中間像32を使用し、走査する時の送りを使用する中間像33,32に合わせ、-レンズ系5と対物レンズ9の間のビーム通路に、調節可能な暗視野偏向部8を有する暗視野遮蔽構造群18を配設し、照明ビーム1を偏向後、正確に中心に向け、対物レンズ9を直角に通過して対象物体11に向け、-電算機ユニット22に接続している評価電子回路21に増幅器20を接続し、前記評価電子回路が増幅器20で発生した出力信号を、検査する対象物体11の表面10の点状、線状および面状の欠陥によって生じる測定値に分解し、-各瞬時走査位置を判定する装置を設け、その場合、走査位置がその都度同じ時点で生じる測定値に付属していて、-一回の測定の全ての測定値全体を表示したり記憶できる、電算機ユニット22に接続する周辺機器23,24,25が設けてある、ことを特徴とする装置。

IPC (2件)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/30

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭64-035246
  
• 特開昭58-174803
  
• 特開昭63-143830