特許
J-GLOBAL ID：200903044168031630
プラズマ発生装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-004127
公開番号（公開出願番号）：特開平7-211487
出願日： 1994年01月19日
公開日（公表日）： 1995年08月11日
要約：
【要約】【目的】 簡単な構成でガスの導入およびプラズマの観察ができ、かつ、高密度のプラズマを発生するプラズマ発生装置を提供することを目的としている。【構成】 同軸導波管(1)により磁場中にマイクロ波を導入してプラズマを発生させるプラズマ発生装置において、同軸導波管(1)の内導体(2)の形状を円筒状とし、その外導体(3)の先端部(3a)外周に、磁場の方向が逆になるように径方向に磁化した少なくとも一対の円筒状の永久磁石(5,7)と、この一対の永久磁石の間に軸方向に磁化した円筒状の永久磁石(6)を内周面で磁力が反発するように組合わせた永久磁石集合体を配置したことを特徴とするものである。
請求項（抜粋）：
同軸導波管により磁場中にマイクロ波を導入してプラズマを発生させるプラズマ発生装置において、前記同軸導波管の内導体の形状を円筒状とし、その外導体の先端部外周に、磁極の方向が逆になるように径方向に磁化した一対の円筒状の永久磁石と、この一対の永久磁石の間に軸方向に磁化した円筒状の永久磁石を内周面で磁力が反発するように組合わせた永久磁石集合体を配置したことを特徴とするプラズマ発生装置。
IPC (4件)：
H05H 1/46
, C23F 4/00
, H01L 21/205
, H01L 21/3065
