特許

J-GLOBAL ID：200903044174223907

有機系反射防止膜のエッチング方法

発明者： 長山 哲治
出願人/特許権者： ソニー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-065058
公開番号（公開出願番号）：特開平10-261618
出願日： 1997年03月18日
公開日（公表日）： 1998年09月29日
要約：

【要約】【課題】 素子構成に起因する段差を許容し、定在波効果を抑制して良好にパターニングを行うために有効な有機系反射防止膜のエッチング方法を提供する。【解決手段】 有機系反射防止膜を有する基板に対して、少なくともSを含有するエッチングガスを供給して前記有機系反射防止膜をエッチングすることを特徴としている。

請求項（抜粋）：

有機系反射防止膜に対してエッチングガスによりエッチングを行う方法であって、有機系反射防止膜を有する基板に対して、少なくともSを含有するエッチングガスを供給して前記有機系反射防止膜をエッチングすることを特徴とする有機系反射防止膜のエッチング方法。

IPC (5件)：

H01L 21/3065 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/461 ,  H01L 27/108 ,  H01L 21/8242

FI (5件)：

H01L 21/302 F ,  H01L 21/461 ,  H01L 21/30 574 ,  H01L 27/10 621 Z ,  H01L 27/10 681 Z