特許

J-GLOBAL ID：200903044185125826

異物検出用自動ギャップ制御ヘッド

発明者： 西田 和弘 ,  立川 茂 ,  森田 勝
出願人/特許権者： 石川島播磨重工業株式会社 ,  石川島システムテクノロジー株式会社
代理人 (1件)： 絹谷 信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-125793
公開番号（公開出願番号）：特開平10-318736
出願日： 1997年05月15日
公開日（公表日）： 1998年12月04日
要約：

【要約】【課題】 異物の検出効率を低下させずに、異物の検出精度を向上できる異物検査用自動ギャップ制御ヘッドを提供する。【解決手段】 検出ヘッド1に形成したエア吹出口3からガラス基板wの表面にエアーを噴射して、背圧によりガラス基板wの表面の異物を検出する異物検出用自動ギャップ制御ヘッド10において、上記エア吹出口3の周囲に、円環状の背圧面6を形成すると共に、その背圧面6の外周に、吹き出したエアーを逃がす圧力解放溝8を形成する。

請求項（抜粋）：

検出ヘッドに形成したエア吹出口からガラス基板の表面にエアーを噴射して、背圧によりガラス基板の表面の異物を検出する異物検出用自動ギャップ制御ヘッドにおいて、上記エア吹出口の周囲に円環状の背圧面を形成すると共にその背圧面の外周に、吹き出したエアーを逃がす圧力解放溝を形成したことを特徴とする異物検出用自動ギャップ制御ヘッド。