特許
J-GLOBAL ID：200903044192523411
加速度センサおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
広瀬 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-164123
公開番号（公開出願番号）：特開平6-347475
出願日： 1993年06月08日
公開日（公表日）： 1994年12月22日
要約：
【要約】【目的】 加速度センサを構成する固定部と可動部内に塵等が侵入するのを防止してセンサ寿命を延ばすと共に、信号処理回路との電気的接続をラインレスにして加速度を正確に検出する。【構成】 加速度に質量部37が変位すると可動側くし状電極38の電極板38Aと固定側くし状電極33の電極板33Aとの離間寸法が変位し、この変位を静電容量として検出する。そして、この固定部32と可動部34とをカバー39で覆うことにより、固定部32および可動部34内に塵、切り屑、水分等が混入,浸入するのを防止できる。また、各引出し電極10を介して静電容量をカバー39外に導出する。
請求項（抜粋）：
絶縁基板と、該絶縁基板上に設けられ、シリコン板をエッチング加工することにより互いに分離して形成された固定部および可動部とを備え、該固定部には固定電極を一体に形成し、前記可動部は、絶縁基板上に固着された支持部と、梁を介して該支持部と連結され、加速度が作用したときに該加速度に応じて変位する質量部と、該質量部に前記固定部に形成された固定電極との間で微小隙間を介して対向するように設けられ、該質量部の変位によって近接,離間する可動電極とから一体に形成してなる加速度センサにおいて、前記絶縁基板には、前記固定部と可動部との周囲を覆うように前記絶縁基板に設けられた環状の周壁と、該周壁の開口部分を覆う蓋部とからなるカバーを形成したことを特徴とする加速度センサ。
IPC (2件)：
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