特許

J-GLOBAL ID：200903044204538509

キッシングアンボンド欠陥検出方法および装置

発明者： スティーブン・エム・シェパード
出願人/特許権者： サーマル・ウェーブ・イメージング、インク
代理人 (1件)： 木村 満 (外4名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-609779
公開番号（公開出願番号）：特表2002-541452
出願日： 2000年04月06日
公開日（公表日）： 2002年12月03日
要約：

【要約】試料の表面下の欠陥、特に、キッシングアンボンド欠陥を検出するためのアクティブサーモグラフ方法であって、試料を加熱し、試料の表面に力を加えることで、欠陥の内壁を移動・分離させ、試料のサーモグラフ画像を経時的に得ることで、試料からの熱の流れをモニターし、熱的な不連続を検出する。キッシングアンボンド欠陥は通常、物理的に接触しているので、内壁間の熱伝導がよく、従来のアクティブサーモグラフ方法では検出することができなかった。試料の表面を変形させることによりキッシングアンボンド欠陥を拡張し、欠陥に十分な熱コントラストを生成し、熱サーモグラフ画像を顕在化させる。

請求項（抜粋）：

試料に熱を伝える工程と、 前記試料の表面に力を加える工程と、 表面下の欠陥の存在を検知するために赤外線の画像を生成する工程と、を備え、 前記試料の表面に力を加えることで前記表面下の欠陥の近傍での熱的な不連続性を増大させる、ことを特徴とする試料の非破壊検査方法。

IPC (3件)：

G01N 25/18 ,  G01N 21/88 ,  G01N 25/72

FI (3件)：

G01N 25/18 A ,  G01N 21/88 Z ,  G01N 25/72 E

Fターム (17件)：

2G040AA06 ,  2G040AB08 ,  2G040BA18 ,  2G040BA25 ,  2G040CA02 ,  2G040CA11 ,  2G040CA23 ,  2G040DA06 ,  2G040EA02 ,  2G040EA06 ,  2G040GA08 ,  2G040GB04 ,  2G051AB06 ,  2G051CA04 ,  2G051CA20 ,  2G051EA08 ,  2G051EC02